Techniques innovantes pour la caractérisation optique microstructurale de couches minces

La caractérisation de la porosité, d'hétérogénéités ou de gradients dans des couches minces intéresse les scientifiques tant sur le plan théorique que pour des aspects technologiques concernant des applications en microélectronique. Cet ouvrage fait le point des connaissances actuelles associées à des méthodes fondées sur l'analyse des interactions entre matière et faisceau électromagnétique.